主要采用辉光放电、微波放电、电晕放电等方法产生高浓度离子。放电的强度与工作室气压比较值较高。通常辉光放电中气体压强远低于大气压，因而气体粒子数密度低，粒子间碰撞耦合弱，电子在外电场加速作用下获取的能量不能及时的传递给重粒了子。结果，低气压等离子体中电子温度远高于重粒子温度，电子温度可高达几十万度，而重粒子温度接近或略高于室温。空间气体迅速成为高浓度的等离子体。

在高浓度的等离子体作用下，使油烟分子结构链迅速断裂分解，然后通过电场将分解的油烟颗粒物吸附在电极板上以达到净化油烟的效果。